无尘车间是净化车间,也称为无尘室或洁净室。这是污染控制的基础。没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在 FED-STD-2.洁净室定义为空气净化、分布、升级、结构材料和设备室,具体规则的操作过程控制空气悬浮颗粒浓度,达到适当的颗粒洁净度水平。
无尘车间内部气流速度应根据无尘车间的使用情况确定,不仅受内部粉尘量的影响,还受其他因素的影响。对于无尘车间工程,气流速度主要包括以下因素:
(1)室内污染源:建筑部件、人员数量和操作活动、工艺设备、工艺材料和工艺加工本身是粉尘颗粒释放源,根据实际情况变化较大。
(2)室内气流类型和分布:单向流需要对称、公平的流线,但会受到工艺设备布局、位置变化和人员活动的影响,形成局部涡流,而不是单向流需要充电和混合,避免盲点和温度分层。
(3)自净时间控制要求:无尘车间事故释放或污染物或气流中断或正常使用时间歇性气流或人和设备运动会导致洁净度恶化,恢复原洁净度自净时间取决于气流速度,自净时间控制要求取决于时间框架,产品制造质量和成品率。
(4)最终过滤器的效率:在一定的室内粉尘量下,可采用较高的过滤器来降低气流速度。为了节约能源,应考虑选择较高的过滤器,降低气流速度,或使用较低的效率过滤器和较高的气流速度,以减少流量和阻力的乘数。
(5)经济考虑:气流速度过大导致投资和运营成本增加。适当的气流速度是上述因素的合理综合。太大通常是不必要的,也不一定有效。
(6)洁净度要求低的无尘车间,有时通风次数取决于室内散热的需要。
以下是无尘车间等级划分标准:
一级。该级无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米。
10级。这一级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级。很多人认为这个级别的无尘车间比较常见,所以是比较重要的无尘车间。人们通常错误地将100级洁净室称为无菌室,以显示“无菌”或“无尘”的环境条件。100级无尘室可用于医药行业的无菌制造工艺。这种洁净室广泛应用于体内物体的生产和手术,包括移植和集成器的生产。
1000级。该级无尘车间主要用于生产高品质光学产品,也用于检测、安装飞机蛇螺仪、安装高品质微型轴承等。
1万级。万级无尘车间用于液压机械或气压设备的安装,在某些情况下也用于食品工业。此外,万级无尘车间在医疗行业也很常见。
1万级。10万级无尘车间用于许多工业部门,如光学产品的生产、大型电子系统的小部件制造、液压或气压系统的生产、食品工业的生产、医药和制药工业。